納米定位平臺 
LS系列直線定位平臺提供數(shù)十厘米的運動行程，定位分辨率優(yōu)于1納米。基于粘滑慣性驅(qū)動、交叉滾子導軌傳動，使得該系列產(chǎn)品具有結(jié)構(gòu)緊湊同時可提供高剛度和高導向精度。該系列定位平臺斷電時可自鎖且無能量損耗，使其可成為一勞永逸的應(yīng)用的理想選擇。此外，我們還提供可在高真空、超高真空和非磁性環(huán)境下工作的專用版本。
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